火花位也叫放電間隙，因為電極與工件放電時產生電弧擴散，所以通常情況下型腔的尺寸一定會大于電極尺寸，一般火花位的數值為單邊0.075mm。實際數據根據電極、工件材料與放電電流大小來定。

　　進行電火花加工時，工具電極和工件分別接脈沖電源的兩極，并浸入工作液中，或將工作液充入放電間隙。通過間隙自動控制系統控制工具電極向工件進給，當兩電極間的間隙達到一定距離時，兩電極上施加的脈沖電壓將工作液擊穿，產生火花放電。
　　在放電的微細通道中瞬時集中大量的熱能，溫度可高達10000℃以上，壓力也有急劇變化，從而使這一點工作表面局部微量的金屬材料立刻熔化、氣化，并爆炸式地飛濺到工作液中，迅速冷凝，形成固體的金屬微粒，被工作液帶走。這時在工件表面上便留下一個微小的凹坑痕跡，放電短暫停歇，兩電極間工作液恢復絕緣狀態